是以罗茨泵为主泵，以水环泵为前级泵串联而成的。该设备目前在各个领域得到了使用，接下来小编就向你介绍不同类型的真空机设备及它的特点介绍。
1、真空
设备一般根据主泵的类型命名，也可以分为低、中、高的
。不同类型的真空
设备
适用于不同的操作情况，低真空
设备，压力高，排气量大，多用于真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥、真空脱气等。低真空
设备普通主泵、往复泵、水环泵、油封机械泵、
、湿式罗茨泵、喷射泵、分子筛吸附泵等。直接排放到大气中，可以胜任。但根据抽出气体的清洁度、湿度等条件，需要配备除尘器、气水油水分离器、干燥阱等设施。
2、介质真空
设备，适用于涂布机、真空冶炼、真空热处理、医药化工、电焊等行业需要高抽速并获得介质真空的各种真空系统。过去
多由罗茨真空泵油封机械泵，罗茨真空水环真空泵，双罗茨真空泵组成。随着
等无油真空泵的兴起，罗茨真空泵
等无油真空
设备逐渐增多，适应性更广。
3、高真空
设备工作在分子流状态，工作压力10-2到10-6帕，排量小，泵速高。主泵一般由扩散泵、分子泵、钛升华泵和低温冷凝泵等承担。因为它们不能直接在大气中工作，所以须配备前级泵、预泵等。在特殊情况下，为了防止气压波动，还需要配备维护泵和储气罐。
4、
的工作压力范围为10-6到10-10 Pa，要求主泵在10-7到10-8Pa以上，并保证工作压力范围内相应的抽气速度，如溅射离子泵、涡轮分子泵等。系统的材料须能承受200到450℃的高温烘烤，并保证低漏风率和出口率等。
以上是为了区分不同的
及应用，也介绍了它们各自的特点。产品也可以按照特点分类，比如含油真空，无油真空
设备。随着真空技术的快速发展，该设备的种类不再局限以前的使用操作，目前得到了广泛应用。
