是由真空泵、各种管路、集成传感器、真空表、测量装置、电气控制系统等一系列的配套真空辅助设备构成，根据主泵的类型来命名，以真空应用范围分为低
、中真空泵机组、高
。
低
一般采选直排大气型的真空泵，如容积式的往复泵、水环泵、油封机械泵、
、湿式罗茨泵以及喷射泵、分子筛吸附泵等，低
工作压力高、排气量大，多用于真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥机真空脱气等。
中
由罗茨真空泵+油封机械泵、罗茨真空+水环真空泵以及双罗茨真空泵这样的组合居多。随着螺杆无油真空泵广泛使用，罗茨真空泵+
这样的无油
也逐渐增多，适用于需要大抽速和获得中真空的各种真空系统中，如镀膜机、真空冶炼、真空热处理及医药化工、电工焊接等行业。
高
工作于分子流状态下，工作压力区间在10-2～10-6Pa，排量小、抽速大，主泵由扩散泵、分子泵、钛升华泵为主，如遇低温冷凝泵无法直接在大气下工作，需配置前级泵、预抽泵等，为防止气压波动还配置维持泵与储气罐等。
系统是对
中关键参数如"真空度(负压或增压)"、"流量"等数据进行实时监测、自动调整，如完成"真空保压"、"自动定时停机、启动"、定时定量"真空抽滤"等的功能性控制系统称为真空系统。
与系统作为实现智能自动化的一种手段，已在电子、半导体元件组装、汽车组装、自动搬运机械、轻工机械、医疗机械、印刷机械、塑料制品机械、包装机械、锻压机械、机器人等许多方面得到广泛的应用。
小编：ZiYu
